单车骑士 发表于 2011-10-11 10:46

求电容式传感器测微小位移参考实例（电路）。。。

电容大概在30p-100p之间，测量距离大概在1mm-5mm，要求精度为0.01um，分辨率为0.1um，

包括   正弦激励（100khz左右）-电容检测（运算放大）-精密全波整流-滤波，


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