用HBM模型测量电子元件ESD等级的方法
用HBM模型测量电子元件ESD等级的方法HBM的ESD测试规格有AEC-Q200-002和IEC61000-4-2等，HBM模型常熟如下表所示因规格有所不同。
规格名 充电用电容器 Cd（pF） 放电用电阻 Rd （Ω）
AEC-Q200-002 150 2000
IEC61000-4-2 150 330
AEC-Q200-002HBM的ESD测试电路及放电电流波形如图1、图2所示。
（i） 开关2为断开状态，开关1闭合，施加高压电源，充电用电容器（Cd）存储电量。
（ii） 开关1断开，开关2闭合，电对测试对象电容器（Cx）施加Cd存储的电量，进行测试。
※Cx：测试对象电容器 Cd：充电用电容器 Rd：放电用电阻 Rc：保护电阻
图1.HBM的ESD测试电路
图2.放电电流波形
根据AEC-Q200-002，HBM的ESD测试流程如图3所示，级分类如表1所示。根据图3的流程进行测试，耐电压的分级如表1所示进行分类。
图3.HBM的ESD测试流程
表1.HBM的ESD测试流程
分类 超大耐电压
1A 500V（DC）以下
1B 0.5kV（DC）以上 1kV（DC）以下
1C 1kV（DC）以上 2kV（DC）以下
2 2kV（DC）以上 4kV（DC）以下
3 4kV（DC）以上 6kV（DC）以下
4 6kV（DC）以上 8kV（DC）以下
5A 8kV（DC）以上 12kV（AD）以下
5B 12kV（AD）以上 16kV（AD）以下
5C 16kV（AD）以上 25kV（AD）以下
6 25kV（AD）以上
DC：直流接触放电 AD：空气放电
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