WhisperingTrees 发表于 2025-8-15 14:44

精度0.6纳米!国产首台电子束光刻机面世

据报道,近日全国首台国产商业化电子束光刻机在杭州正式亮相,这台设备由浙江大学余杭量子研究院自主研发,型号为“羲之”,已完成研发并进入应用测试阶段。“羲之”是一款新一代100kV电子束光刻机,外观酷似大型钢柜,专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节。可通过高能电子束在硅基上“手写”电路,精度可达0.6纳米、线宽仅8纳米,精度比肩国际主流设备,并且无需掩模版,可多次修改设计。据介绍,与传统光刻机相比,电子束光刻机在原型设计、快速迭代和小批量试制方面具有独特优势。团队负责人表示:“芯片研发初期会设计很多版型、图案,常常需要一条线一条线进行修改,电子束光刻机精度高、‘书写’便捷,极大提升了芯片研发初期反复调试的效率。”此前先进电子束光刻机类设备受国际出口管制,国内顶尖科研机构和企业长期无法采购,而“羲之”的落地彻底打破了这一困局,目前已与国内企业及多家科研机构展开接洽。

xch 发表于 2025-8-18 10:01

不知被“比肩”的 国际主流设备的是谁?被“比肩”的精度是多少?

ezcui 发表于 2025-8-19 18:40

自主特色创新有哪些
页: [1]
查看完整版本: 精度0.6纳米!国产首台电子束光刻机面世