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求各位推荐高精度位移传感器

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楼主
逛逛看看学学|  楼主 | 2015-11-26 10:47 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
位移传感器, 高精度, 电路, 处理电路
对于测量量程要求不大，大概在10mm以内，精度要求：0.1um，体积小一点，前端处理电路简单一些的，各位使用过的大神推荐一下啊

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沙发
fllfqj| | 2015-11-26 10:58 | 只看该作者
线性霍尔传感器就可以

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板凳
forthlab| | 2015-11-26 12:55 | 只看该作者
fllfqj 发表于 2015-11-26 10:58
线性霍尔传感器就可以

霍尔没有这么高的精度吧，霍尔温度漂移也不小

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地板
maychang| | 2015-11-26 13:49 | 只看该作者
0.1um的精度，只能是光学方法。
考虑迈克尔逊干涉仪。

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5楼
zhlqy65| | 2015-11-26 14:01 | 只看该作者
0.001%的精度，普通模拟测量方式很难解决，只能是光学干涉方法，但体积不会小，对安装和环境要求也会很高。

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6楼
逛逛看看学学|  楼主 | 2015-11-26 14:21 | 只看该作者
fllfqj 发表于 2015-11-26 10:58
线性霍尔传感器就可以

有没有厂家可以推荐一下啊？

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7楼
逛逛看看学学|  楼主 | 2015-11-26 14:22 | 只看该作者
maychang 发表于 2015-11-26 13:49
0.1um的精度，只能是光学方法。
考虑迈克尔逊干涉仪。

可以推荐一下合适的位移传感器厂家或位移传感器型号么

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8楼
逛逛看看学学|  楼主 | 2015-11-26 15:24 | 只看该作者
maychang 发表于 2015-11-26 13:49
0.1um的精度，只能是光学方法。
考虑迈克尔逊干涉仪。

我是想用个传感器做到设备里去的，用迈克尔逊干涉仪不行

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9楼
ayl439| | 2015-11-26 17:26 | 只看该作者
量程10mm！精度0.1um！！非常非常难，张大侠说的迈克尔逊干涉仪好像在高中还是大学做过实验，不过毕业后从未用过，全忘了:(

楼主的量程降低10倍，也许有模块能实现

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10楼
ayl439| | 2015-11-26 17:28 | 只看该作者
楼主的量程降低至少10倍，或者精度降低至少10倍，也比较难了，但是估计这样才可能有比较实际的传感器模块

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11楼
maychang| | 2015-11-26 18:12 | 只看该作者
逛逛看看学学 发表于 2015-11-26 15:24
我是想用个传感器做到设备里去的，用迈克尔逊干涉仪不行

估计你还没有弄清楚0.1um是个什么概念。
假定玻璃片上有两条平行的线，彼此之间的距离是0.1um，再好的光学显微镜也无法分辨出这是两条线而不是一条。
最好的光学显微镜都看不到，想用简单方法解决？

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12楼
songchenping| | 2015-11-26 19:48 | 只看该作者
精度要求太高了

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13楼
taoest| | 2015-11-26 21:34 | 只看该作者
本帖最后由 taoest 于 2015-11-26 21:44 编辑

100纳米啊，很多IC都没这么细的线宽。

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14楼
受不了了| | 2015-11-26 22:25 | 只看该作者
电涡流位移传感器，不过我没用过

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15楼
yaoyuanytu| | 2015-11-26 22:34 | 只看该作者
感觉模拟传感器肯定不能满足要求，受温度等影响。光学原理传感器可能可以解决。

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16楼
ocon| | 2015-11-27 00:37 | 只看该作者
用射电显微镜:lol很多初学者一上来就要求：国际顶尖的精度+华强北的成本控制+本科毕设的难度:P

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17楼
crazyren| | 2015-11-27 08:05 | 只看该作者
我们使用的基恩士的激光测距量程、精度跟这差不多，但那价格~~~
国产的没听说有这精度的

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18楼
逛逛看看学学|  楼主 | 2015-11-27 08:30 | 只看该作者
现在我们这边解决方案是：精度为1um的，通过杠杆原理放大10倍，所以理论上能够达到0.1um，但是这种还是有误差的

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19楼
逛逛看看学学|  楼主 | 2015-11-27 08:32 | 只看该作者
ayl439 发表于 2015-11-26 17:26
量程10mm！精度0.1um！！非常非常难，张大侠说的迈克尔逊干涉仪好像在高中还是大学做过实验，不过毕业后从 ...

量程降低也可以的，主要性能看精度，求推荐啊

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20楼
逛逛看看学学|  楼主 | 2015-11-27 08:33 | 只看该作者
crazyren 发表于 2015-11-27 08:05
我们使用的基恩士的激光测距量程、精度跟这差不多，但那价格~~~
国产的没听说有这精度的 ...

好的，多谢哈

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