本设备主要用于生产厂房中的各种药液的供给。
规格尺寸:长
853mm
宽
833mm
高941mm
主要材质:德国进口NPP板
产品特点:1.连接化学桶
2.由PLC控制,通过操作触摸屏来使化学供应泵工作。从化学桶里转移化学品直到气泡检测器检测不到气泡为止,去气泡装置有一个检测气泡传感器,当检测到有气泡排空气动阀打开,当检测没有气泡时排空气动阀关闭。判断化学桶是否已经空了的原理一样。
3.这样化学供应系统就准备好了,根据使用点的需求来启动化学品供应泵通过过滤器来过滤化学药品后再把供应化学品到使用点。化学供品供应泵是一用一备以便更换,过滤有N2,DI管线以便于更换过滤器吹扫残余化学品使用。
4.若化学品桶空了,在管路上的气泡检测器将检测到的气泡,这样系统讲切换到另一个备用的化学桶供应,这样来保证不间断供应化学品到使用机台。
5.在安全方面,设备触控屏下方有紧急停机按钮;在设备内部不同区域有泄露检测器来检测是否有液体泄露出来,若有液体泄露出来,将自动体制供应化学品。
备注:管路采用双套管形式,输液管路(PFA)外套透明PVC管,用以保护输液管路的安全,(可以根据客户的需求进行定制)
联系人:徐竹林
邮箱:cse@hlcas.com
苏州华林科纳半导体设备技术有限公司
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