本帖最后由 表面形貌检测 于 2016-7-19 09:50 编辑
基本原理
利用光的干涉原理，特定反射光束与样品反射光束进行干涉，测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器，通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。
应用领域
用于较大范围的样品表面形貌、粗糙度、三维轮廓等特性的快速测量； 广泛应用于半导体材料和陶瓷基板表面的粗糙度、激光刻蚀痕迹、BUMP三维结构、MEMS器件关键尺寸、TSV孔尺寸和翘曲度等领域的测量。
技术优势
Bruker公司的光学轮廓仪在基本工作原理及应用方面拥有100多项专利，有超过30年的生产经验。成熟的生产工艺保证了Bruker产品具有最好的稳定性和可靠性。其中包括已成为业界标准的VSI Mode，PSI Mode等，具有极其优异的性能，铸就了在本领域的全面领先地位。全球销售超过8000套，国内销售300余套，处于占绝对优势的市场领先地位。在全球半导体、磁记录器件和光通讯器件生产厂家的占有率几乎达到100%，已成为业界标准。
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