高级一些的可以用质量流量计，精度5%以外的可以用Honeywell的，几百块钱，3%以内的可以用美国Brooks的，这个是贵货，一般测量仪器上用，如无特殊要求还是另觅其他产品；
质量流量计也有国产的，具体技术指标一言难尽，几百到几千的都有，楼主可上某宝查找；
如果要求不高，也可以用类似肺活量测试仪用的压力传感器，Freescale的MPX系列可以找找，价格相当合理；为保证测试精度，楼主可以通过一些试验手段来标定，让一定容积的气体通过固定大小的节流孔径，使用积分方式求取气体流量；
类似方法标定过的压力传感器测肺活量，准确度还是可以接受的。
希望能帮到你。
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楼主
