1. 直线度测量构建
中图仪器SJ6000激光干涉仪的激光头射出后的激光由直线度干涉镜以一定的小角度分为两束，并入射到直线度反射镜中。经直线度反射镜反射后，沿着新光路返回到直线度干涉镜中，经直线度干涉镜合束后返回激光头的进光口，当直线度干涉镜偏离光线，则两光束产生光束差，由激光干涉仪探测器探测出来，由软件计算显示出来。
在直线度测量过程中，一般尽可能的采用直线度干涉镜相对于直线度反射的运动，这样操作有利于提高测量的准确性和精度。
2. 直线度干涉镜的连接
SJ6000直线度干涉镜提供两种连接方式。除通过夹紧块连接外，还可以通过直线度附件中的M8连接头连接。
3. 直线度测量应用
由于导轨磨损、事故造成的导轨损坏以及地基不牢导致的导轨弯曲等，会对机器的定位、加工精度带来直接的影响。直线度测量可以显示出机器导轨的弯曲的情况，并可由生成的直线度误差对机器的性能做出评价和补偿。
直线度测量可以对水平面和垂直面进行测量，这取决于直线度干涉镜和反射镜安装的方法。
3.1. 机器轴、直线导轨测量
当需要测量导轨较长时，传统的直接测量方法无法提供这样的测量长度和精度。
测量建议将质量较轻的直线度干涉镜作为移动部件，因为较重的反射镜的移动可能会对测量的准确性产生影响。
3.2. 机床工作台直线度测量
测量时，直线度反射镜固定，直线度干涉镜安装在移动的工作台上，通过直线度干涉镜的移就可以测量工作台的直线度。
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