高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品
美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者，
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业
，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有
尽有。
1) Film Wizard 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。
2) FilmTek 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求.
1.多层厚度（1 纳米 到 250 微米）
2.折射率n
3.吸收系数k
4.双折射率
5.能隙（Eg）
6.表面粗糙度和损伤
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式）
8.薄膜温度特性
9.晶元曲率和薄膜耐压性
应用实例，上海半导体研发中心成功引进SCI的FilmTek 2000。
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下：
电话021-61021226转820/818 王**/陈先生
邮件：[email=wangdongmei@**]wangdongmei@**[/email] / [email=benchan@**]benchan@**[/email]
网址：http://www.emd** |
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