关于探针台测试三级管类晶圆Z轴抬升异常

只看该作者 · 2017-7-12 19:29

有没有做晶圆测试的朋友，帮忙看看有没有遇到过类似的问题。我们用的探针台是PT301改装的带MAP机台，在测试三极管、二极管类晶圆时，总是有同一晶粒，Z轴抬升两次，然后测试出来，探针台和测试机的数据就不一样。但是测试其他像闪灯类的产品就没有这种情况，我把CPU控制板，通信板、XYZ驱动板这些都换过，没有效果。最后还是整个工作台和其他机台对换了以后才解决，但是还有台机也是这样现象。目前真正找原因，所以没有更换工作台，不知道有没有同行遇到过这种怪现象？

4万 · 2017-7-13 12:02

检查定位精度。

3万 · 2017-7-13 12:36

检查Z轴抬升定位信号是否正常.

关于探针台测试三级管类晶圆Z轴抬升异常

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