叉指电极是通过电化学工艺加工获得超精细电路,线宽线距大于等于(50,50μm)。作为传感器,声表面波滤波器,微波射频等电信号传输核心部件,广泛应用于移动通信、医疗检测、环境在线监测等重要领域。
加工精度线宽可达最小50 μm
加工精度线距可达最小50 μm
金属层厚度>1 μm
耐温测试-50~150 ℃
金属层镍,铜,金,镍-磷,金锡合金
基体:氧化铝,氮化铝,玻璃,硅片,压电陶瓷,微波介电陶瓷,塑料薄膜。
中山大学电子封装电化学实验室技术,加工精度线宽线距可50微米
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