特点：只需0.001秒抓拍即可得到物体实时三维形貌、运动参数等特征，无需扫描，亚纳米精度。与传统CLSM、AFM、干涉仪等完全不一样的非扫描成像机制，实时动态大面积分析
一些微纳器件的形貌和运动参数全息法检测（硅麦、微执行器、薄膜）图例
数字全息显微成像分两步进行。首先利用光学显微术对被测物体预放大，利用光学全息术记录物体的显微全息图，通过光电探测技术将全息图数字化，最后数字再现物体的三维图像信息。数字记录原理如图1所示。系统采用离轴光路结构，基于菲涅耳衍射的重建算法，仅从一幅全息图就能提取被测样本的振幅和位相信息，实时重建原始物体像。激光束经扩束和空间滤波后分为两束平面波，即物光波O和参考光波R，被测样本首先经过显微物镜放大成像，放大的物光波与参考光相干涉，利用CCD记录形成数字全息图。各个记录元件的相对位置关系如图2所示。调整反射镜，使得参考光波与物光波之间形成适当的离轴参考角θ。数字全息显微术和光学全息术相同，可以在物光波传播途径中的任何位置记录。
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