1)灵敏度S
光敏器件的灵敏度是指器件输出电流（或电压）与入射光通贵（或照度）之比。灵敏度又分为单色灵敏度和积分灵敏度。当某一波长λ的光入射到光敏器件时，器件输出的光电流Iλ与该波长的入射光通量Φλ（或照度Eλ之比），称为该器件的绝对单色灵敏度。由于光敏器件对某一波长最为敏感，因此对此波长有最大灵敏度。而对某一波长的绝对单色灵敏度与最大灵敏度之比，称为相对单色灵敏度。
光敏期间输出的电流（或电压）与入射光的总通量（或照度）之比，称为积分灵敏度。积分灵敏度不仅与光敏器件本身持性有关，而且与光源的辐射持性有关。所以，在测试光敏器件的积分灵敏度时，要标定出光源的辐射条件。
2)光谱响应
光敏器件的单色灵敏度是入射光波长的函数，常用曲线表示。下图是某一光敏二极管的光谱响应曲线。由图可见，其短波截止波长和长波截止波长分别为0.4μm和1.1μm，峰值波长（即灵敏度最大的波长）约在0.9μm。其他光敏器件的光谱响应曲线和此曲线有相似之处，但不同种类的光敏器件的光谱曲线的形状、光谱范围和峰值波长等均有所不同。
光谱响应曲线 3)频率响应
当入射到光敏器件的光为明暗交替的交变光时，随着光的交变频率不断增加，光敏器件输出的交变电流的幅值将逐渐减小。输出辐值降至最大值0.707倍时所对应的光的交变頻率称为截止频率fH。下图为光敏器件的频率特性曲线。fH愈大，说明光敏器件响应或检测快速变化的光信号的能力愈强。
频率响应曲线 光敏器件的频率响应也可用响应时间描述。如瞬时地加上稳定光，当输出值上升至最大值（或饱和值)的某一规定百分数（如90%）时所需的时间即称为上升时间；瞬时地除去光照，当输出值下降至最大值的某一规定百分数（如10%）所需的时间称为下降时间。上升时间和下降时间的长短即反映了光敏器件响应的快慢。
此外，光敏器件的响应也与温度有关。因此在有些情况下还要考虑其温度特性。当然，光敏器件的伏安特性也是必须考虑的重要特性。
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