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请问在半导体的生产过程中的托盘清洗问题。

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beliefyang|  楼主 | 2011-8-1 09:42 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
半导体
请问在半导体的生产过程中哪个工艺步骤上使用了托盘一类的支撑物，在国内的半导体工厂中是如何进行托盘的清洗处理的呢？有用到真空烘烤炉之类的设备进行托盘清洗吗？

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金鱼木鱼| | 2011-8-2 19:06 | 只看该作者
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