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EJA结构原理核心当属单晶硅,其可以起到免除阻尼的影响,从而使得EJA的性能更好,对于EJA测量压力信号,EJA的受力情况也是比较关键的。
当EJA的单晶硅片上下表面受到压力并形成压力差时将产生形变,中心处受至压缩力,边缘处受到张力,因而EJA的两个形状振梁分别感受不同应变作用,其结果是EJA中心谐振梁受压缩力而频减少,边侧谐振梁因受张力而频率之差对应不同的压力信号,这样就实现了EJA对不同压力信号的测量。
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