发新帖我要提问
返回列表
打印
[资料干货]

金属刻蚀缺陷

[复制链接]
863|1
手机看帖
扫描二维码
随时随地手机跟帖
跳转到指定楼层
楼主
Napoleon1989|  楼主 | 2020-1-12 16:13 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
金属, se
金属刻蚀后未去胶，然后在SEM下看见的缺陷，请问这是什么原因造成的。

微信图片_20200112161149.jpg (386.39 KB )

金属刻蚀后未去胶

金属刻蚀后未去胶

使用特权

评论回复 赏

相关帖子
沙发
tyw| | 2020-1-12 18:29 | 只看该作者
钝化层刻蚀对厚铝铝须缺陷影响的研究.pdf (1.36 MB)
32nm互连刻蚀-成长的烦恼.pdf (540.95 KB)
P-GaN ICP刻蚀损伤研究.pdf (3.75 MB)
干法刻蚀制程工艺及相关缺陷的分析和改善.pdf (15.45 MB)
第06章刻蚀分析.pdf (4.2 MB)
300mm干法刻蚀中铝金属腐蚀缺陷优化研究 - 中国知网.pdf (1.12 MB)
光刻与刻蚀工艺经典案例.pdf (6.96 MB)

使用特权

评论回复 赏
返回列表
发新帖 我要提问
高级模式
B Color Image Link Quote Code 收费 Smilies
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则

Napoleon1989

1

主题

1

帖子

0

粉丝