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高低温真空探针台测试系统

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本帖最后由 cindbest 于 2020-3-20 11:49 编辑

◆ 2至6英寸样品台
◆ 高真空腔体
◆ 防辐射屏设计,样品温度均匀性更好
◆ 77K-675K高低温环境
◆ 兼容IV/CV/RF测试
◆ 外置多探针臂,移动行程大
◆ 经济实用,可无缝升级


极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。

高温无氧化测试:
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。


◆ 腔体规格:
型号
CGO-2/CGO-4/CGO-6
样品台尺寸
2英寸/4英寸/6英寸
样品固定
弹簧压片
观察窗口
2英寸/4英寸/6英寸
真空度
10-6torr
探针臂接口
4~6个探针臂接口
其他接口
电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口
制冷方式
液氮/液氦/制冷机
温度范围
77K到573K/4.5K到573K
温控精度
0.1K/0.01K/0.001K
稳定性
±1K/±0.1K/±0.01K
外形
880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高
重量
约100千克/120千克

◆ 光学系统:
显微镜类型
单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜
放大倍率
16X-200X/20X-4000X
移动行程
水平360度旋转,Z轴行程50.8mm
光源
外置LED环形光源/同轴光源
CCD
200万像素/500万像素/1200万像素


◆ 探针臂:
X-Y-Z移动行程
50mm*50mm*50mm
结构
外置探针臂,真空波纹管结构
移动精度
10微米/1微米
线缆
同轴线/三轴线/射频线
漏电精度
10pA/100fA/10fA
固定探针
弹簧固定/管状固定
接头类型
BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
频率支持
DC-67GHZ
针尖直径
0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米


◆ 其他组件:
真空组件
分子泵组/机械泵/离子泵
冷源组件
50L/100L液氮罐/液氦罐/制冷机



◆ 可选附件
超高温配件
显示器
转接头
射频测试配件
屏蔽箱
光学平台
镀金卡盘
光电测试配件
高压测试配件
分子泵组
激光系统
气敏测试配件







联系人:深圳市森东宝科技有限公司 王经理 13632559891(微信同号)

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