本帖最后由 cindbest 于 2020-3-20 11:49 编辑
◆ 2至6英寸样品台 ◆ 高真空腔体 ◆ 防辐射屏设计,样品温度均匀性更好 ◆ 77K-675K高低温环境 ◆ 兼容IV/CV/RF测试 ◆ 外置多探针臂,移动行程大 ◆ 经济实用,可无缝升级
极低温测试: 因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试: 当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
◆ 腔体规格: | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | | 880mm长*880mm宽*600mm高/980mm长*980mm宽*600mm高 | | |
◆ 光学系统:
◆ 探针臂: | | | | | | | | | | | | | | | | | 0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米 |
◆ 其他组件:
◆ 可选附件
联系人:深圳市森东宝科技有限公司 王经理 13632559891(微信同号)
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