振镜扫描,是指振镜电机带动反射镜偏转,进而带动激光光束在扫描平面上移动,
进行扫描。它的机械部分是由X. Y两个振镜组成的振镜头,每个振镜电机轴上都安
装了一个反射镜片,这两个反射镜的相互配合偏转不同的角度就可以带动激光束在扫
描平面上扫面出完整的图形。
振镜扫描的整个扫描过程中有很多因素需要我们注意,以扫描视场为例,需要考
虑聚焦光斑的大小、激光光束的聚焦面、扫描面积的大小、扫描线性度、离焦误差等
因素。为了满足上述要求,需在扫描系统的适当位置添加聚焦系统,来得到光斑大小
和激光能量密度符合要求的激光光斑。根据所添加的聚焦系统所处的位置,我们把振
镜式扫描分为前聚焦扫描和后聚焦扫描两种扫描方式。
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