:基于信号链分析方法,研究并设计一款压力传感器的前置放大器。同传统分析方法相比,信号链的分析计算使得各个模块的指标分配更加合理。整个芯片采用SMIC 0.18μm CMOS 工艺,对所设计的电路进行仿真验证,当输入电压为 68mV 时,输出电压波形无明显毛刺,输入等效噪声约为 13nV/Hz,系统整体噪声约为566nV。本文提出了一种信号链计算分析方法,并设计了一种压力传感器前端的仪表放大器。该仪表放大器采用SMIC 0.18μm CMOS 工艺实现。仿真结果表明,整体的噪声水平约为566nV,输入等效噪声约为13nV/姨Hz。本文的仪表放大器具有结构简单,供电电压和噪声较低的优点,比较适合应用于传感器的读取电路等应用。
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