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微机电系统(]NEMS)是指用微机械加工技术制作的包括传感器1微致动器/微能源/等微机械基本部分以及高性能的电子集成线路组成的微机电器件与装置。 其典型的生产工艺流程为:成膜工艺(氧化/CVD:LPCVD PECVD/PVD: 溅射/电镀/掺杂:扩散注入退火)→光刻图形(旋涂/光刻/显影)→干法/湿法/刻蚀(湿法刻蚀/硅刻蚀/Si0z刻蚀/去胶清洗/金属刻蚀/金属剥离/RCA清洗)  金属剥离清洗机
| | | | | 尺寸(参考):机台尺寸: 1750mmWx 1 400mmDx1900mmH (具体尺寸根 据实际图纸确定) 清洗量: 6寸25装花篮2篮; 重里: 500Kg( 大约) ; 工作环境:室内放置; | | 外壳:不锈钢304板组合焊接而成。 安全门:无安全门，采用敞开式设计; 管路系统:药液管路采用不锈钢管，纯水管路采用CL-PVC管; 阀门:药液管路阀i ]采用不锈钢电磁阀门; 排风:后下抽风，动力抽风法兰位于机台上部; 水汽枪:配有水气枪各2把，分置于两侧; 隔板:药液槽之间配有隔离板，防止药液交叉污染; 照明:机台上方配照明(与工作区隔离) ; 机台支脚:有滑轮装置及固定装置，并且有高低调整及锁定功能。 三色警示灯置于机台上方明显处。 | | 剥离洗槽. 槽体:不锈钢316，有效尺寸405 X 220 X 260mm; 化学药品:剥离洗液; 药液供液:人工手动加入; 工作温度: 60C并可调:温度可调; 加热方式:五面体贴膜加热/投入式加热器加入热; 液位控制:采用N2背压数位检测: . 计时功能:工艺时间可设定，并可调，到设定时间后声明提示，点击按钮后开始倒序计时; 批次**:药液使用次数可**，药液供入时间可**，设定次数和设定时间到后更换药液; 排液:排液管道材质为不锈钢管，按钮控制. 槽盖:配有手动槽盖; IPA槽 槽体:不锈钢316，有效尺寸405 x 220 X 260mm; 化学药品: IPA; 供液:手动供液 工作时间:约5min并可调; 工作温度:常温; 排放:槽体底部单独直排; QDR槽 槽体:长X宽X高= 405X 220X 260mm，NPP 板焊接而成; 供水:双管路自动供水, 3/4供水管径，1/2溢流给水管，气动阀控制; 工作温度: RT; 溢流方式:四面溢流,溢流口为波纹状; 喷淋:由槽体顶部两侧的DIW喷淋管和喷嘴实现; 鼓泡:槽底部安装N2鼓泡系统，均匀鼓泡，也可根据需要关闭; 排放:气动阀控制快速排放，N P P排放管路，快速排放时间≤7秒; 工艺流程:水满→放入花篮→氮气鼓泡打开→溢流漂洗+氮气鼓泡→快排阀打开，快速排放，→喷淋-→快排阀关闭，同时底部注水，- -次冲洗快排工艺结束; |
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