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这是一台立式双腔甩干机，主要作用是干燥，它可以干燥8寸以下的晶圆或者器件。 ![]() 双腔甩干机
| | | | | | | 约L×D×H=面宽480mm×纵深820mm×高度1750mm清洗件规格 4寸/5寸/6寸/8寸等尺寸晶圆或器件 | | 人工上货 → DI喷洗加转子旋转 → HOTN2吹干加转子旋转 → 加速旋干含舱体加热保温 → 完成设备预设之制程结束 | | | | 外观材质：本体以W - PP10t板材质组焊组合； 设备骨架：SUS25*25*1.2T骨架组合，结构强固； 作业视窗：视窗采透明压克力材质，有效掌握作业情况； 管路系统： OneChamber模块化； 排风系统：间接式抽风设计，有效稳定空气扰流，并同时堿低异味； 机台支脚：具高低调整及锁定功能。 机台正压保护：采N2正压保护； 机台微尘控制量：<80 AddedAt0.2 MicronorBetter，无刷伺服电机，去静电。 |
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