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车载、工业电子零件要求的条件一年比一年严格，在这样的情况下，能高精度测量绝对压力、表压、压差的压阻式压力传感器非常适合广泛应用在这些领域中。压力传感器的核心部件称作管芯（die），它是将压力转化为电气输出的传感元件。本期推文就来为您介绍TDK压力传感器管芯——C43 / C44系列。 压阻式压力传感 TDK提供一系列高精度压阻式压力传感MEMS管芯，有各种压力范围和尺寸。它们的特点是灵敏度高、设计灵活，重点放在了提高介质耐性，易于处理，整个产品寿命期间的高可靠性和稳定的信号输出上。 ![]()
图1 压阻式压力传感 C43/C44产品系列介绍 压力传感器管芯C43和C44系列能够测量表压（C43、C44）、正面（C43）、背面（C44）的绝对压力。该系列是进一步提高了广受好评的C32管芯系列的功能后得到的新产品。它们测量压力的范围为0···10bar～0···40bar，温度范围为-40 °C～+150 °C。特别是通过C44的背面受压方式测定绝对压力时，液体、气体等介质的压力施加在管芯的背面，所以可以完全防止这些介质与上表面的电子电路构成面的接触。 ![]()
图2 C43 / C44系列 C43 / C44管芯的主要特点 1、加压界限提高 C43 / C44系列的加压界限大幅提高，最大150bar，有力地扩充了TDK面向高压应用的压力传感器管芯的产品系列。这种加压界限的显著上升是通过增加玻璃基座的阳极结合面积，减少空腔的体积实现的。 ![]()
图3 加压界限提高 2、长期稳定性 信号输出的精度在整个耐用期间都在±0.1%以内（满量程），长期稳定性非常好，这也是一大特点。此外，为了限制对管芯性能的电磁、电化学影响，直接对MEMS的多层结构进行电气密封。 ![]()
图4 长期稳定性 长期稳定性试验的步骤： ![]()
关于上述试验、"长期稳定性"的定义的详细信息，请参考本公司网站的“AS标准100001”。https://www.tdk-electronics.tdk.com/download/531176/a9d9d46bd59752a223c6e3a31397a5e4/long-term-test-as1000001.pdf 3、通过现有传感器封装进行升级 对加压界限需求更高的客户，就可以通过与现行的C32管芯系列相同的传感器封装使用C43与C44系列。该系列焊盘的配置、高度和安装面积与C32相同，但是加压界限更高。 ![]()
图5 通过现有传感器封装进行升级 MEMS管芯C44的特殊功能 ![]()
图6 MEMS管芯C44的特殊功能 产品概要 ![]()
应用示例 1、车载应用 在汽车领域，传感器被用于测量不同介质的压力，对动力传动系统的管理、安全系统提供支持。对于以往的汽油内燃机汽车，为了提高燃油经济性，需要使用传感器对发动机进行精确的控制。另外，对于处理废气，削减有害气体的排放，传感器也是不可缺少的。另一方面，在电动汽车的电力驱动系统、氢燃料电池应用方面，也需要传感器来协助管理蓄电池、燃料电池。 为了让制动器、变速器、空气悬架、供暖/通风/空调 （heating, ventilating and air conditioning: HVAC） 等各种车载组件也能有效发挥功能，精确监测各种介质的压力是不可或缺的。在含有液压油等液体的系统中，局部压力可能上升（称为压力峰值），这可能会损伤传感器管芯。C43和C44系列具有较高的加压界限，十分结实，在这些峰值压力下运行也能充分承受压力，降低管芯故障的风险。 为了满足最新车载系统的严格要求，传感器的长期稳定性、高精度的压力检测不可或缺。 2、工业应用 在工业设备、系统中，压力传感器被用于水压、空气压力驱动的机械、建筑HVAC系统、能源管理和水管理等中的控制和诊断。它已经成为测定、控制技术不可或缺的重要组件。与气体填充系统相比，使用液体的应用需要更高的加压界限。压力峰值一般发生在泵、阀门、执行器的初始运行期间。C43 / C44系列将在这些需要高加压界限（胀裂压力）的应用中发挥真正的价值。
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