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MEMS电容传感器电路

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wqy176|  楼主 | 2023-6-29 10:53 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
本帖最后由 tyw 于 2023-6-29 12:11 编辑

pdf中的可变电容是MEMS电容传感器，用来测压力的。加直流的目的是为了在电容传感器中产生静电力，对抗压力，从而扩大测量范围。交流是为了检测电容值的。我做了好几组实验，一通上直流电，测得结果跟理论完全对不上。用万用表测传感器，都显示有直流电压。但是产生的静电力对抗压力的结果就一直不正确。

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沙发
wqy176|  楼主 | 2023-6-29 11:33 | 只看该作者

MEMS电容传感器电路

pdf中的可变电容是MEMS电容传感器，用来测压力的。加直流的目的是为了在电容传感器中产生静电力，对抗压力，从而扩大测量范围。交流是为了检测电容值的。我做了好几组实验，一通上直流电，测得结果跟理论完全对不上。用万用表测传感器，都显示有直流电压。但是产生的静电力对抗压力的结果就一直不正确。

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板凳
wqy176|  楼主 | 2023-6-29 13:42 | 只看该作者

MEMS电容传感器电路

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地板
wqy176|  楼主 | 2023-6-29 14:04 | 只看该作者

MEMS电容传感器电路


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5楼
sym111| | 2023-6-29 16:12 | 只看该作者
MEMS   要工作在谐振点上。不然灵敏度太低

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6楼
sym111| | 2023-6-29 16:16 | 只看该作者
上面的电路是理论上的，实际环境下准确度无法控制。应该用开关型的https://max.book118.com/html/2019/0314/8017032117002012.shtm

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wqy176 2023-6-29 17:09 回复TA
我现在是只加高频的交流信号，没有加直流电，可以测出电容值，测量结果也是跟着压力变化而改变。但在加上静电力对抗压力的时候，整个结果就不对，没有静电力对抗压力的现象，但用万用表测mems传感器，上面是有直流电的。现在就是搞不懂为什么会这样。理论上分析觉得可以，而且国外好几篇论文也都是这个方案 
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