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mems电容传感器电路

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wqy176|  楼主 | 2023-6-29 12:18 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
MEMS, 传感, 传感器, 传感器电, 传感器电路
图中中的可变电容是MEMS电容传感器，用来测压力的。加直流的目的是为了在电容传感器中产生静电力，对抗压力，从而扩大测量范围。交流是为了检测电容值的。我做了好几组实验，一通上直流电，测得结果跟理论完全对不上。用万用表测传感器，都显示有直流电压。但是产生的静电力对抗压力的结果就一直不正确。

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