mems电容传感器电路

只看该作者 · 2023-6-29 20:12

图中的可变电容是MEMS电容传感器，用来测压力的。加直流的目的是为了在电容传感器中产生静电力，对抗压力，从而扩大测量范围。交流是为了检测电容值的。我做了好几组实验，一通上直流电，测得结果跟理论完全对不上。用万用表测传感器，都显示有直流电压。但是产生的静电力对抗压力的结果就一直不正确。现在是只加高频的交流信号，没有加直流电，可以测出电容值，测量结果也是跟着压力变化而改变。但在加上静电力对抗压力的时候，整个结果就不对，没有静电力对抗压力的现象，但用万用表测mems传感器，上面是有直流电的。现在就是搞不懂为什么会这样。理论上分析觉得可以，而且国外好几篇论文也都是这个方案
[color=rgba(0, 0, 0, 0.75)]

[color=rgba(0, 0, 0, 0.75)] 赞
回复

只看该作者 · 2023-6-30 13:15

“加上静电力对抗压力的时候，整个结果就不对”，不对体现在哪？

只看该作者 · 2023-6-30 21:14

LcwSwust 发表于 2023-6-30 13:15
“加上静电力对抗压力的时候，整个结果就不对”，不对体现在哪？

就比如大约在6Pa的时候，所需要提供的静电力只要6V左右。当在标准大气压下测量时，测量结果（没加上静电力）是1.5V左右，当在6Pa的时候，测量结果（没加上静电力）为5.8V这样。当加上6V的静电力后，结果还是5.8V，测量结果一点都没变，按照理论，应该是要变到1.5V左右。

只看该作者 · 2023-7-1 09:01

wqy176 发表于 2023-6-30 21:14
就比如大约在6Pa的时候，所需要提供的静电力只要6V左右。当在标准大气压下测量时，测量结果（没加上静电 ...

哦，可能直流电压太小或静电力太小或测量结果变化很小。

只看该作者 · 2023-7-1 09:08

LcwSwust 发表于 2023-7-1 09:01
哦，可能直流电压太小或静电力太小或测量结果变化很小。

应该不会，我甚至将压力降到0.1Pa左右，此时所需静电力才0.1V左右，我通上5V的静电力，测量结果还是不对。

mems电容传感器电路

相关下载

相关帖子