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行业应用|立仪光谱共焦位移传感器对石墨厚度的测量

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项目一:测量薄膜下石墨的厚度



行业应用|立仪光谱共焦位移传感器对石墨厚度的测量

行业应用|立仪光谱共焦位移传感器对石墨厚度的测量

检测方案:

将产品平置,上下各一个探头,进行对射测厚,通过传感器软件获取产品的厚度值。
1、采用D15A32R02S3的传感器。
2、总厚度依次选取圈内位置测量,薄膜测量则选取石墨附近位置的薄膜厚度。

测试结果:


行业应用|立仪光谱共焦位移传感器对石墨厚度的测量


行业应用|立仪光谱共焦位移传感器对石墨厚度的测量

行业应用|立仪光谱共焦位移传感器对石墨厚度的测量

1、位置1重复13次的动态重复精度为0.135微米,位置2重复13次的动态重复精度为0.053微米,位置3重复13次的动态重复精度为0.073微米,位置4重复13次的动态重复精度为0.175微米。

2、产品4个位置总厚度的平均值-薄膜厚度的平均值=4个位置石墨平均厚度

产品清单:



行业应用|立仪光谱共焦位移传感器对石墨厚度的测量


项目二:测量石墨的厚度



行业应用|立仪光谱共焦位移传感器对石墨厚度的测量

行业应用|立仪光谱共焦位移传感器对石墨厚度的测量

检测方案:

将产品平置,上下各一个探头,进行对射测厚,通过传感器软件获取产品的厚度值。
1、采用D15A32R02S3的传感器。
2、石墨上随机取4个位置测试。

测试结果:


行业应用|立仪光谱共焦位移传感器对石墨厚度的测量


位置1重复25次的动态重复精度为0.31微米,位置2重复25次的动态重复精度为0.168微米,位置3重复25次的动态重复精度为0.052微米,位置4重复25次的动态重复精度为0.064微米。

产品清单:



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