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DES制程(五部曲)

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沙发
forgot|  楼主 | 2023-7-19 08:48 | 只看该作者
(2).曝光

作业环境:黄光

作业目的:通过UV光照射和菲挡,菲林透明的地方和干膜发生光学聚合

反应,菲林是棕色的地方,UV光无法穿透,菲林不能和其对

应的干膜发生光学聚合反应。

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板凳
forgot|  楼主 | 2023-7-19 08:48 | 只看该作者
(3).显影

作业溶液:Na2CO3(K2CO3)弱碱性溶液

作业目的:用弱碱性溶液作用,将未发生聚合反应之干膜部分清洗掉

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地板
forgot|  楼主 | 2023-7-19 08:48 | 只看该作者
(4).蚀刻

作业溶液:酸氧水:HCl+H2O2

作业目的:利用药液将显影后露出的铜蚀刻掉,形成图形转移。

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forgot|  楼主 | 2023-7-19 08:48 | 只看该作者
(5).剥膜

作业溶液:NaOH强碱性溶液

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