探针台（Probe Station）是一种用于对半导体器件进行电性能测试的重要设备。它通常由精密的机械结构、高性能的探针针头和电性能测试仪器组成。探针台可以对半导体芯片、集成电路和其他微电子器件进行直接的电性能测试，从而为研究和生产提供有价值的信息。
探针台在半导体行业的研究和生产中发挥着重要作用。主要应用领域包括：
半导体器件开发：在新型半导体器件的研发过程中，需要对其电性能进行多次测试，以优化器件结构和工艺参数。探针台提供了快速、准确的电性能测试手段，有助于研究人员了解器件性能并进行改进。
生产过程控制：在半导体器件的生产过程中，需要对部分产品进行抽样测试，以确保生产过程的稳定性和产品质量。探针台可以实现自动化、高效的电性能测试，为生产过程控制提供数据支持。
故障分析：当半导体器件出现故障时，需要对其进行电性能测试，以确定故障原因和故障位置。探针台可以在微米或纳米尺度上进行精确的定位，有助于快速识别故障。 |
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