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氟塑料PFA花篮在超净高纯半导体行业中的应用

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njbzh5644|  楼主 | 2023-12-25 17:21 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
氟塑料PFA花篮在超净高纯的半导体行业中制造有重要应用，主要包括晶圆的承载与传输。
在半导体制造过程中，晶圆需要经过多个工艺步骤，包括清洗、沉积、刻蚀等。这些步骤需要将晶圆从一个工艺区域传输到另一个工艺区域。PFA花篮具有优异的耐化学腐蚀性能和低摩擦系数，能够确保晶圆在传输过程中的稳定性和精度。此外，PFA花篮还具有良好的电绝缘性能，可避免晶圆在传输过程中受到静电干扰。

总的来说，PFA花篮在超净高纯的半导体制造中起到了关键的作用，确保了晶圆的稳定传输和制造过程的顺利进行。

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