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MEMS（Microelectromechanical systems）技术的应用包括有传感器和执行器两部分，在智能手机，智能手环、新能源汽车、四轴飞行器及VR、医疗保健等领域已得到广泛的应用。 MEMS涉及微加工技术，机械学、固体声波、电子学，生物学等方面，特征长度从1毫米到1微米，因此具有体积小、重量轻、功耗低、灵敏度高、易于集成等优势。 例如，iPhone 6 Plus使用了六轴陀螺仪&加速度计、三轴电子罗盘、及磁力计，大气压力计、距离传感器，环境光传感器(来自AMS的TSL2581 )和MEMS麦克风，提升智能手机的灵敏性和可靠性。 高分辨率MEMS固态激光雷达，可在驱动作用下对激光进行偏转、调制及相位控制，具有体积小、结构简单、可靠性高、功耗低等优势，实现较大视场范围的3D形貌识别与模型构建。
mems加速度传感器是用来测量飞行器运动的加速度，是惯性导航系统中的重要惯性元件。线加速度计是惯性测量和导航系统的主要元件。 按自由度有单轴、双轴、三轴加速度计，按加速度的原理有压电、振弦、振梁、光学和摆式加速度计；按支承方式有液浮、挠性和静电加速度计。 可用于无人系统的GNSS辅助导航，平台和起重机的稳定，以及精密机器人应用。 Mems推动消费和工业电子的发展，在更多领域展现广阔的发展前景，也成为各大厂商竞争和角逐的热点。 MEMS压力传感器可以集成设备里专门负责测量压力，如汽车引擎管理系统、制动系统；工业液压系统、气动系统和过程控制系统，医疗呼吸机、血压监测仪和其他医疗设备等。
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