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芯片制造关键技术首次突破

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cooldog123pp|  楼主 | 2024-10-24 09:15 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式

据南京发布近日消息,国家第三代半导体技术创新中心(南京)历时4年自主研发,成功攻关沟槽型碳化硅MOSFET芯片制造关键技术,打破平面型碳化硅MOSFET芯片性能“天花板”。据悉这是我国在这一领域的首次突破。

平面碳化硅MOS结构的特点是工艺简单,元胞一致性较好、雪崩能量比较高;缺点是当电流被限制在靠近P体区域的狭窄N区中,流过时会产生JFET效应,增加通态电阻,且寄生电容较大。

该突破对我们的生活和半导体产业有何加持作用呢?国家第三代半导体技术创新中心(南京)技术总监黄润华以新能源汽车举例介绍,碳化硅功率器件本身相比硅器件具备省电优势,可提升续航能力约5%;应用沟槽结构后,可实现更低电阻的设计。在导通性能指标不变的情况下,则可实现更高密度的芯片布局,从而降低芯片使用成本。


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