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MEMs 电容感测电路，差分不了

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xuebudong|  楼主 | 2024-11-18 17:49 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
MEMS, 电容感测电路, 放大器匹配, 信号
测量的电容变化大概3~4pF, 有相关论文给出电路图如上，给出射频信号后转换成电压信号。差分电路中采用OP37,R1=R3=R4=50k欧姆，R2=10k欧姆，但是差分出来的信号非常大，感觉共模信号根本没哟差分干净，求教如何解决。

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