|
探针台根据测试需求、操作方式及环境条件可分为多个类别，其核心特点与适用场景如下： 一、按测试样品分类 1、晶圆测试探针台 l 特点：支持4寸至12寸晶圆测试，配备高精度移动平台与探针卡，兼容晶圆厂标准化测试流程。 l 场景：晶圆厂量产前的缺陷筛选（CP测试），实验室芯片原型验证。 2、LED测试探针台 l 特点：集成光学检测模块，可同步测试电学参数（如正向电压）与光学性能（如光强、波长）。 l 场景：LED芯片光效评估、显示面板背光源质量控制。 3、功率器件测试探针台 l 特点：支持高压（＞1000V）、大电流（＞100A）测试，配备耐高温探针与散热系统。 l 场景：IGBT、SiC MOSFET等功率半导体器件的动态特性验证。 4、纳米器件测试探针台 l 特点：纳米级定位精度（±0.1μm），兼容低温（如-196℃）与磁场（如0.5T垂直磁场）环境。 l 场景：二维材料、量子点器件等前沿材料的电学特性研究。
二、按应用环境分类 1、高/低温环境测试探针台 l 特点：温度范围覆盖-65℃至+300℃，支持真空环境测试，避免冷凝干扰。 l 场景：汽车电子低温冷启动测试、航天器件高温可靠性验证。 2、射频（RF）探针台 l 特点：集成RF屏蔽箱与高频探针（40GHz以上），支持S参数、噪声系数等射频指标测试。 l 场景：5G通信模块、毫米波雷达芯片的射频性能验证。 3、真空探针台 l 特点：全封闭真空腔体设计，消除空气放电干扰，兼容低电流（fA级）测试。 l 场景：MEMS传感器、光电探测器的高精度电学参数测量。 三、按操作方式分类 1、手动探针台 l 特点：操作灵活，配置显微镜与手动位移台（行程100mm×100mm），成本低。 l 场景：实验室小批量样品测试、高校科研教学。 2、全自动探针台 l 特点：机械臂自动定位，支持晶圆级批量测试，效率提升30%以上。 l 场景：晶圆厂量产测试、高复杂度芯片（如CPU）的快速筛选。 四、按特殊功能分类 1、双面点针探针台 l 特点：支持芯片正反面同步扎针，减少测试误差。 l 场景：3D封装芯片、TSV（硅通孔）器件的互联性验证。 2、热探针台 l 特点：内置加热模块，模拟高温工作条件（如+150℃）。 l 场景：功率器件热稳定性测试、封装材料热膨胀系数分析。 探针台的多样性设计（如手动型灵活适配科研需求、全自动型满足量产效率）与专业化扩展能力（如RF/真空/高低温模块），使其可覆盖半导体制造、光电器件研发、新能源材料分析等全产业链测试需求。选型时需综合测试精度、环境兼容性及成本效益，例如纳米器件研发优先选择低温磁场探针台，而量产场景则需全自动机型提升效率。
| 
楼主
标题置顶
标题高亮
