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一、机械定位类故障 1、探针无法移动或定位失准 l 诊断方法：检查电源通断状态，观察驱动器/电机是否异常运行；使用显微镜校准探针与样品台的水平度。 l 解决方案：更换损坏的电机或电路板；紧固机械部件并重新校准X/Y/Z轴定位系统。 2、探针与样品接触异常 l 诊断方法：观察探针jian端是否弯曲/氧化，检查样品表面平整度。 l 解决方案：更换老化探针或调整探针压力至合适范围（推荐压力：0.1-0.5N）；使用真空卡盘吸附固定样品以消除位移。 二、电接触与信号类故障 1、探针接触不良导致信号失真 l 诊断方法：通过示波器检测信号波形是否异常（如噪声增大、幅值波动）；测量探针电阻值是否超出标准范围（通常＜1Ω）。 l 解决方案：使用酒精清洁探针和被测点，消除氧化层或污染物；调整射频探针阻抗匹配模块（针对高频测试场景）。 2、测试数据不准确或重复性差 l 诊断方法：对比多次测试结果差异，排查环境干扰（如温湿度波动）。 l 解决方案：启用真空/正压环境隔离外部干扰；校准测试设备（如源表、示波器）的基准参数。 三、环境控制类故障 1、真空度不足或泄漏 l 诊断方法：使用氦质谱检漏仪定位漏点，检查密封圈/管道连接状态。 l 解决方案：更换老化密封圈（推荐材料：氟橡胶）；启动备用真空泵组提升抽气效率。 2、温度控制失效 l 诊断方法：监控温控系统反馈信号，验证传感器精度（误差＞±1℃需排查）。 l 解决方案：更换故障的温度传感器；调整PID控制算法参数以优化响应速度。 四、光学系统类故障 1、显微镜成像模糊或亮度异常 l 诊断方法：检查物镜/目镜清洁度，确认孔径光栏开度是否匹配（建议开度：70%-80%）。 l 解决方案：使用无尘布清洁光学镜头；调节样品台水平度至双轴误差＜0.01°。 五、通用排查流程 1、直觉法：观察设备外观是否有断线、元件烧毁等直观异常。 2、替换法：用正常部件（如探针、传感器）替换可疑元件验证故障点。 3、参数对比法：将故障数据与历史正常数据对比，定位偏差环节。
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