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电子直写光刻机驻极体圆筒聚焦电极 随着科技进步，对电子显微镜的精度要求越来越高。电子直写光刻机的精度与电子波长和电子束聚焦后的焦点直径有关，电子波长可通过增加加速电极电压来减小波长，而电子束聚焦后的焦点直径与设备本身有关。被测物体或目标物体平面很难调整到刚好与电子束焦点重合的理想状态，而电子束聚焦后的焦点直径与聚焦电极的品质因数有关，由电极本身决定。如安装中的误差，都会导致电场分布不均衡，使聚焦出现误差。传统聚焦手段已不能满足电子直写光刻机对电子束质量的要求。 只有对聚焦电极改进才是最佳选择，以下介绍该进后的电极工作原理。通过把电子束压缩到中心线达到缩束的目的，使电子束分布在一条直线上。 最新研究成果表明，可以利用同种电荷相排拆的原理使电子束聚焦。其装置如下，在带负电驻极体圆筒电极内，圆筒电极把电子束压缩成一条极细的线，使电子束直射到目标点。这样的电极避免了传统聚焦目标物要刚好在焦点上的复杂的调整，因为用带负电驻极体圆筒聚焦后的电子束本来就是一条细线，焦点是一条直线上的一段范围，不需要调焦。 原理如下：因驻极体圆筒带负电，电子束也带负电，根据同种电荷相排斥，离驻极体壁越近，电子受到的排斥力越大，不在中心轴线上的电子受到非平衡力的作用，驻极体电场会把电子束推向驻极体圆筒中心轴线位置，中心轴线位置上的电子受到大小相等，方向相反的平衡力的作用，保持在中心轴线上，这样电子束就会在中心轴线上聚焦，而在驻极体末端端口附近，随着离端口越远电势就会越小，电子束在电势差的作用下再次聚焦，焦点会在很长的距离上保持很细，省去了复杂的调焦过程，把晶圆放置在聚焦范围内，就可以刻写电路了。 结构图如下：
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