半导体面板Chiller 是用于半导体制造和显示面板（如LCD/OLED）生产中的高精度冷却设备，主要功能是为关键工艺设备提供稳定的温度控制，确保生产质量和效率。
一、什么是面板系列Panel Chiller？
半导体行业用的面板系列Panel Chiller应⽤于刻蚀、蒸镀、镀膜工艺等，支持大流量高负载，确保严苛工况下持续稳定运行；支持冷却水动态调节系统，可根据环境温度与设备热负荷，实时调节⽔温。
半导体行业用的面板系列Panel Chiller采用变频智能控制，减少无效能耗；全动补液与⽔质管理，缺液时自动补液；符合三通道工艺设计要求，确保信号/流体的独⽴传输与准确控制。
二、面板系列Panel Chiller应用工艺
面板系列Panel Chiller（工业冷水机）：一种通过制冷循环系统提供低温冷却水的设备，广泛应用于工业温控。
半导体面板：可能指两类场景：
半导体制造：如晶圆加工中的光刻、蚀刻等设备冷却。
显示面板制造：如LCD/OLED生产中的蒸镀、曝光等环节温控。
三、面板系列Panel Chiller应用场景
半导体制造中的Chiller
作用：冷却光刻机、离子注入机、蚀刻机等，维持设备恒温（±0.1℃精度）。
需求：超纯水冷却、防腐蚀材料（如不锈钢）、抗振动设计。
显示面板（面板行业）中的Chiller
作用：控制蒸镀机、激光切割、OLED蒸镀等设备的温度，避免热变形。
特点：高能效比、快速降温能力，应对大面积面板均匀冷却需求。
四、面板系列Panel Chiller技术特点
高精度温控：采用PID算法或变频技术，控温范围:+15~+30℃℃，控温精度±0.1°C。
满足需求：支持大流量大负载需求，控温稳定性高
支持多通道：支持相关工艺三通道需求，升降温速率快
稳定性：两级闭环节能控制，具备自动补液功能
五、面板系列Panel Chiller常见类型
风冷式Chiller：适合水资源有限的区域，散热依赖风扇。
水冷式Chiller：效率更高，需搭配冷却塔使用。
超低温Chiller：用于特殊工艺（如某些激光设备），可达-40℃以下。
六、面板系列Panel Chiller的行业重要性
半导体：温度波动可能导致晶圆缺陷，影响芯片良率。
显示面板：温度不均会导致色彩偏差、面板寿命缩短。
随着科技的不断发展，半导体面板Chiller的性能将不断提升，控温精度和冷却效率将进一步提高。同时，随着新能源、新材料等领域的快速发展，半导体Chiller的应用领域也将不断拓展。 |
楼主
标题置顶
标题高亮
