当“精度焦虑”成为制造业的隐形门槛：
在半导体光刻中，1nm偏差可能导致整片晶圆报废；
在精密机床加工中，热变形让传统测量工具“失灵”……
“高精度、高稳定、抗干扰”——工业超精密制造的三大痛点，如何破局？
PLR3000系列光纤激光尺基于激光干涉测量原理，具有更加精确的栅距和更高的分辨率，同时其热源隔离设计，保证了更高的稳定性，同时具有安装快捷，易于准直等特点，在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术等高科技领域广泛应用。
核心优势
1、高精度
分辨率10nm（可拓展），线性测量精度0.2ppm，稳频精度0.02ppm，满足纳米级测量需求。
环境气象站实时补偿温度、湿度、气压对测量的影响，确保数据长期稳定。
2、灵活配置
支持单轴、双轴、三轴输出，轻松实现多自由度测量。
可选差分干涉仪、平面镜干涉仪、角锥棱镜干涉仪等多种探头，适配复杂场景。
3、高稳定性与便捷性
激光光源与探头分离设计，3米铠装光纤连接，避免设备散热干扰，安装灵活。
体积小巧，适配狭小空间，降低阿贝误差风险。
4、广泛适用性
最大量程4米（可拓展），支持动态速度达2m/s，覆盖从静态检测到高速运动场景。
光纤激光尺比传统光栅精度高10倍，分辨率达原子层级（10nm=100个原子直径！） PLR3000 系列光纤激光尺已在多个客户端进行精度验证：用差分干涉（DI）探头对高精度纳米位移台进行闭环控制，在10mm行程内任意位置实现纳米级位置控制精度。 |
楼主
标题置顶
标题高亮
