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纳米材料高温原位表征及测试方案

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纳米材料/纳米电子器件电学测试面临的挑战
随着纳米材料在不同领域的广泛应用,新型纳米材料的研发具备了与往不同的特征,如纳米发电材料,纳米温差材料,纳米传感器等。由于纳米材料的种类,以及功能众多,因此,纳米材料的测试面临如下测试挑战:
测试信号微弱,纳米材料测试多为样品研发试验阶段,需要测试样品在单位面积产生的电压或电流微弱信号。尤其是电流信号,可低至nA,甚至pA级。因此,这就要求测试仪表,具有准确的微弱信号检测能力。
外部噪声干扰,由于纳米材料测试信号弱,且部分材料特性易受外部环境变化干扰,这就需要在测试中对与测试无关的外部环境噪声,进行有效屏蔽。比如采用四线制测试,降低线损压降;采用三同轴Guard方式降低线缆漏电流等等方式。
测试方式多样,多数纳米材料在光,热,湿度等外部环境的激励下,具有一定的响应特征。因此,在对纳米材料的研发中,常需要测试样品在不同外界激励源的响应输出能力。多样化的测试,使得测试仪表具备多种测试功能,如进行恒压测试,I-V扫描测试,V-t测试,脉冲测试,多通道测试等。


通过MEMS芯片在原位样品台内对样品构建精细热场自动调控及反馈测量系统,并结合TEM/SEM研究材料在不同热场条件下发生结构相变、形貌变化、物性变化以及电性变化等关键信息。   


测试面临的挑战:

传统的二线制电阻测量方式容易引入附加误差,降低MEMS芯片控温的精准度。材料测试所能承受的电流超小,低至nA甚至pA,测试设备需要具备小电流的测量能力。


普赛斯S/P系列源表为原位表征提供精准热场控制及电性能测量:
标配四线制测量端口;
提供多个电流量程,量程越低,精度越高;
最低1pA电流分辨率,源测精度高达0.03%。




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