一个SMD焊盘的分布电容就有零点几个pf，可想1e-5pf的大小了。
我没有这方面的经验，但是想象测量系统的稳定度、分辨率应该在高一个数量级以上。也就是说稳定度和分辨率要达到能分辨<1e-6pf引起的变化。
如果把被测物作为恒温晶振谐振器的一部分，也放置在恒温、无振动等稳定的环境里，根据晶振频率的变化，再加上定标，就有可能测出该小电容。
恒温晶振的长期稳定度<1e-6和短期稳定度<1e-9是不难达到的，而测量一般是个短期的行为。
例如，一个足够稳定的10MHz晶振，其等效电感为22uh，谐振电容为11.513771pf。当谐振电容增加1e-5pf后，频率变化量为-4.34Hz，频率的相对变化为-4.34e-7。当然，频率计也要可信。
(纠错：1e-17pf电容改为1e-5pf)
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