IC衬底的材料？？？

只看该作者 · 2008-5-20 19:38

做IC用的衬底材料，是用铝做的衬底好，还是用硅做的衬底好？请各位大侠指教！！！！

只看该作者 · 2008-5-31 13:41

当然是硅好了，硅衬底制备工艺已经发展好几十年，十分的成熟了！并且在外延技术、刻蚀技术方面，Si都比Al好的多！AL一般只是用在调整IC的阈值电压的或者是在IC的布线和键合方面有用！
AL很少用于衬底的！
如果你要做高速IC,那你最好用化合物半导体如Ⅲ-Ⅴ的GaAs,Ⅱ-Ⅵ的ZnS或者SiGe固溶体了，这方面的材料很多的！
即使是金刚石、蓝宝石、红宝石都可以被用作衬底的！

只看该作者 · 2008-6-13 10:46

铝是导体,怎么用来作衬底,想不明白
半导体应该建立在半导体的原理上面

IC衬底的材料？？？

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