用微机械加工技术制造的典型产品是硅微型压力传感器，对此美国日本和欧洲均已形成产业。硅微型压力传感器近几年来发展很快，该传感器主要应用于汽车工业和医疗保健领域。
硅微型压力传感器的特点是体积小，重量轻，没有活动部件，可靠性高，又能大规模生产该传感器，所以造价低。高可靠性，低成本对于汽车工业的要求可以说是非常适合的，因此在汽车工业中迅速扩展了它的应用领域。如自动刹车系统的压车面压力，轮胎压力，气囊压力，传动系统流体压力，注入系统流体压力，注入燃料压力，发动机机油压力。进气管道压力都有硅微型压力传感器额用武之地。
硅微型压力传感器在医疗保健领域里的最大应用产品是血压监视器。据称一些大的医疗机械制造上每年要使用近500万只压力传感器。此外，如妇女难产时监控子宫压力用的硅微型压力传感器，静脉注射监控药液流动的传感器等都是有相当数量的市场需求。其他许多医疗保健方面的应用也正在不断开发中。
硅微型压力传感器基本上分成两类：电容式和压阻式。电容式的压力传感器包括一个薄膜，它作为可变空气电容器的一个极板，当薄膜上承受压力时，薄膜产生位移，从而改变电容值，利用这种变化经过相应的电路处理，就可得到压力值。压阻式传感器使用硅材料承受压力时会产生电阻变化的原理制成，一般将4个硅材料的应变电阻构成惠斯通电桥来测量压力。
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