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[传感器]

硅电容压力传感器（3D-MEMS技术）结构

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楼主
xiaooobai|  楼主 | 2013-11-24 21:40 | 只看该作者 |只看大图 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
MEMS技术, 压力传感器, 电容, 膜片, 元件
传感器由三部分组成:

1) 基于3D-MEMS技术的压力敏感元件
2) 专用混合信号处理ASIC
3)LDS-MID外壳

压力测量单元是一个硅电容压力传感元件，它由一个硅片局部变薄形成的感压膜片组成。这个感压膜片是作为电容式传感器中的一个可移动的极板。固定极板是附加在硅片上的玻璃涂层上沉积的一层金属薄膜。晶片通过阳极键合连接，在他们中间形成了一个密封的空间。膜片弯曲程度取决于传感器外部压力和腔内真空的参考值，通过电容值的变化来感测压力的变化量。



SHR1000.png (38.72 KB )

原理

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SHR1000.png

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沙发
jinchen1227| | 2014-3-19 16:42 | 只看该作者
不懂ASIC怎么做。。。

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板凳
youluo235| | 2014-3-20 10:21 | 只看该作者
电容感测压力？这准不准呢？

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