硅电容压力传感器（3D-MEMS技术）结构

只看该作者 · 2013-11-24 21:40

传感器由三部分组成:

1) 基于3D-MEMS技术的压力敏感元件

2) 专用混合信号处理ASIC

3)LDS-MID外壳

压力测量单元是一个硅电容压力传感元件，它由一个硅片局部变薄形成的感压膜片组成。这个感压膜片是作为电容式传感器中的一个可移动的极板。固定极板是附加在硅片上的玻璃涂层上沉积的一层金属薄膜。晶片通过阳极键合连接，在他们中间形成了一个密封的空间。膜片弯曲程度取决于传感器外部压力和腔内真空的参考值，通过电容值的变化来感测压力的变化量。