2013年，Silicon Labs推出了一款MEMS谐振器，下面是国际知名的电子杂志<Electronics Weekly>对来自Silicon Labs的Mike Petrowski先生的采访。
“我们保证我们的产品在-40到85 °C温度范围内，在10年内保持± 20ppm的精确度"，Mike Petrowski，Silicon labs计时器产品副总裁，告诉电子周刊。该产品在大批量生产中把MEMS架构直接构建于标准CMOS晶圆上 ，有周围四个加中心一个的5锚点固定 。“使用这种材料，储存在CMOS顶部的过程是与底层的CMOS的热预算相兼容的." Petrowski说。
“Si50x采用SiGe材料，这样做的好处是，当温度升高时，芯片上的SiGe会变硬，而其中的氧化槽会变软，这一软一硬的相互补充，就可以使器件的频率漂移接近于0"Petrowski说。电子本质上是由MEMS谐振器稳定的温度补偿的VCO。Si504可产生从32kHz到100MHz之间的任何频率，并通过一个引脚串行接口调整。“这是一个有很多分辨率的模拟回路，分辨率为十亿分之一” Petrowski说。
Si50x包括四类产品，单频率振荡器Si501、双频率振荡器Si502、四频率振荡器Si503和完全可编程的振荡器Si504，可以根据使用需要实时调节频率。 “虽然有一些标准频率，但振荡器是大规模定制的业务， ” Petrowski说。“对客户来说多频率工作是一个大问题。例如视频，有一堆不同的标准，音讯也是这种情况。 “消耗是1.7毫安。 “如果你想提高抖动一点点，它可以低至1.1psrms ，我们可以增加一点点电源” Petrowski 说，“我们同样可以自定义驱动强度使边缘缓慢。”
目前该产品能够生产出三种工业标准的封装尺寸：2mm*2.5mm、2.5mm*3.2mm和3.2mm*5mm ，在任何封装内所有模型都能够获得。为什么Silicon Labs公司致力于MEMS，而不是一个像eoSemi的补偿电路谐振器呢？“我们认为物理谐振器比电子谐振器更加具有确定性，风险更低， ” Petrowski说。 “使用电子谐振器的话，需要做很多工作以得到> 100ppm的精度，而我们的精度是20PPM 。 ” |
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