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出售美国intel公司FAB7厂6英寸生产线大量设备-全新零配件

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ququ1234|  楼主 | 2008-5-26 13:22 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
主机设备清单
名称    型号    厂家    年代
CVD ILD Dep    Amat 5000    Applied Materials    1992--1995
CVD W Dep    Amat 5000    Applied Materials    1992
LRC Etcher    AE 480    LAM Research Corp.    1985
LRC Poly Etcher    490    LAM Research Corp.    1986
LRC Poly Etcher    490B    LAM Research Corp.    1987--1993
LRC Nit/Diel Etcher    490B    LAM Research Corp.    1990--1991
Microwave Asher    AURA 1000    Gasonics International    1989--1995
AMAT Metal Etcher    AMAT 8330    Applied Materials    1991--1994
AMAT Oxide Etcher    AMAT 8310    Applied Materials    1988--1996
Prober    EG2001X,EG2001CX,EG2010    ELECTROGLAS    1984--1996
Rinser Dryer    1600(double )    Verteq (Rhetech, Inc.)    1990--1993
SSI Track    500 BAY 900    Semiconductor Systems, Inc.    1990
SSI Track    150 BAY 910    Semiconductor Systems, Inc.    1990
SSI Track    150    Semiconductor Systems, Inc.    1990--1993
SSI Track    500    Semiconductor Systems, Inc.    1989--1998
Biorad Q2 Req.    Q5    Quaestor    1994

设备辅机清单
Amat 5000  所属附机4套
辅机:1,Heat Exchanger  2,Transformer  3,Miscellaneous  4,Gas Cabinet/Box  
5,Etch Interface Unit  6,RF Generator  7,Generator  
8,AC Remote Panel/RF Gen  9, Miscellaneous/Monitor    10,Gas Box   
11, Monitor Ar
490B  所属附机10套
辅机:1, Chiller  2, Monitor  3, Monitor/Remote

AMAT 8330  所属附机4套
辅机:1, RF Generator  2, Miscellaneous  3, Miscl/Monitor  4, Power Supply  5, Arm  
6, Electrical Box  7, Cables
AMAT 8310  所属附机10套
辅机:1, Miscellaneous  2, Chiller  3, VME  4, RF Generator  5, Heat Exchanger  
6, Load Chamber/Heat Exchanger
      7, Miscl/Cables  8, Arm  9, Power Supply  10, Generator  11, Cables

500 BAY 900  所属附机17套
辅机:1, Chiller  2, Roll Around/Power Supply  3, Chemical Cabinet/Power Conditioner  
4, Miscl/Power Conditioner  5, Chemical Cabinet/RF Generator  6, Pwr. Conditioner  7, FTC Cabinet/Power Conditioner  8, Chemical Cabinet

Q5  所属附机2套
辅机:1,Power Supply  2, Miscellaneous  3, Stage  4, Stage/Optics

除此外我公司还有大量Edwards单泵和组合泵
Edwards Pump:
Qdp40,  Qdp40/Qmb250,   Qdp40/Qmb500
Iqdp80,  Iqdp80/qmb500 , Iqdp80/Iqmb250, Iqdp80/Iqmb500


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