介绍了PSoC技术在行波型旋转超声波电动机驱动的直线位移机构步进运动控制系统中的应用。由PSoC微处理器构成步进超声波电动机的智能控制器,PSoC内部的PWM(脉冲宽度调节器)模块发出连续方波信号,经由功率放大电路将方波信号转换成驱动超声波电动机运转所需的正弦信号,通过计数器控制中断实现信号脉冲发射,从而实现基于超声波电动机的直线位移机构的步进运动。用LabVIEW编写了相关程序和控制界面,由上位机PC端控制超声波电动机的运行状态,通过RS-232串口通信电路向PSoC发送控制命令。最后通过XL-80激光干涉仪对机构进行了位移精度测试,试验结果表明该机构运行平稳,步距固定,位移分辨率达到了6 nm,取得了理想的效果。
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