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请教一下大家（111）晶面硅的腐蚀问题

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楼主
yzwudi321|  楼主 | 2015-1-12 12:05 | 只看该作者 回帖奖励 |倒序浏览 |阅读模式
微米
我现在需要将（111）晶面的硅腐蚀300微米左右深，应该用什么腐蚀液和掩膜，谢谢大家帮助

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沙发
123654789| | 2015-1-12 12:21 | 只看该作者
这些高大上的问题我也不懂得
同问

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板凳
tyw| | 2015-1-12 15:06 | 只看该作者
MEMS工艺(5表面硅加工技术).pdf (6.36 MB)
硅微MEMS加工工艺.pdf (2.45 MB)
MEMS加工工艺.pdf (9.35 MB)

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地板
yzwudi321|  楼主 | 2015-1-12 19:08 | 只看该作者
tyw 发表于 2015-1-12 15:06

谢谢，但还是没找到方法

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5楼
yzwudi321|  楼主 | 2015-1-13 22:57 | 只看该作者
请大神来解答

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6楼
xiaotao_82| | 2015-1-14 07:05 | 只看该作者
这个深度用刻蚀液得用三天到五天时间，金做掩膜。建议还是干法刻蚀吧！不过一般还很少有人刻这么深，一百多微米已经很厉害了。

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7楼
yzwudi321|  楼主 | 2015-1-14 15:07 | 只看该作者
xiaotao_82 发表于 2015-1-14 07:05
这个深度用刻蚀液得用三天到五天时间，金做掩膜。建议还是干法刻蚀吧！不过一般还很少有人刻这么深，一百多 ...

干法太贵了，实验室也不让刻硅

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