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集成电路常用测试仪器
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集成电路常用测试仪器
一、简单的电学测试
1. 万用表：测试电阻、电压、电流等，
2. 示波器：数字信号波形、电压、脉宽、电流、信号上升时间、下降时间等等，常用的厂家有泰克（Tektronix）、安捷伦等。
3. LRC测试仪：电阻、电容、电感测试仪。
二、电参数测试
1. 图示仪（curve tracer）：主要测试二/三极管、MOS管、集成电路的端口I/V特性，测试三极管、MOS管的正向压降、反向漏电、反向击穿电压、增益（电路放大倍数）等；
目前常用的有：泰克（Tektronix）公司的370B等型号，以及集成电路的多通道端口扫描仪curve tracer。
2. 半导体参数测试：主要测试MOS管、简单电路的一些电学特征参数：如阈值电压、反向漏电流（给器件加反向电压时通过的电流，一般是纳安nA到微安uA级）、跨导gm（dI/dV）等。
典型型号有：安捷伦公司的HP4155, HP4156，吉时利（Cathley）公司的也有新产品
3. 集成电路测试仪：
主要为一些简单集成电路测试仪，可测试的电路有：逻辑电路、线性电路（运放、比较器、电压基准源等）、模拟电路、储存器、其他数字电路等；
主要测试有静态参数：高、低电平的电压值、电流值等等。
动态参数：信号的上升沿、下降沿幅度、时间等。
功能参数：器件功能模拟，需编真值表或测试向量文件。
三、功能测试
复杂电路的功能测试
如可编程逻辑器件FPGA，处理器CPU、数字信号处理器DSP、片上系统芯片SOC等测试，功能测试编程复杂，需要的测试仪器昂贵，需专人培训和操作。
测试仪器有安捷伦（现在的VERIGY公司）的93000等系统。
