I-V曲线会骗人?ESD测试中的这些坑你别踩

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天工静电 发表于 2025-9-1 10:21 | 显示全部楼层 |阅读模式
本帖最后由 天工静电 于 2025-9-1 10:23 编辑

   对于集成电路产品而言,静电放电敏感度测试是基本要求。而在芯片的静电放电保护设计方面,对I-V(电流-电压)曲线加以分析,可以揭露一系列关键问题。
   按照现行行业标准,最终测试(FT)是必须要做的,在测试过程中,被测器件要在不同电压应力等级时,于自动测试设备(ATE)与静电放电(ESD)测试机台之间来回往返,会导致操作上的麻烦。为了减少周期时长并且削减成本,简易的IV曲线测量常常被用来取代FT测试。
   不过,国际上现行的标准在I-V测试的引脚偏置设定方面没有严格统一起来,进而有导致结果误判的风险。
   案例一:配置VSS/VDD,具有漏电“屏蔽效果”
   在ESD测试之后,某I/O端口的检测结果为“通过”,然而,其VDD引脚却显示“失效”,这便是故障场景。
   失效分析(FA)的结果表明,I/O引脚保护二极管(D2)处出现了实际损坏,源漏穿通(Punch-through)就发生在此处。
   量测I/O引脚时将VDD与VSS共同接地,这是导致误判的原因。由于二极管D1完好,电流可正向导通流经它到达VDD,这样就构建了一条低阻通路,这条通路把D2损坏所产生的漏电给掩盖住了,从而让I-V曲线看上去是正常的。当检测VDD引脚时,内部电路(例如输出级PMOS)恰巧串联了I/O损伤之处,从而致使VDD出现异常。
1:失效样品的IV曲线对比
   图1对比了不同引脚配置下失效样品的IV曲线,结果显示当Vdd引脚与Vss引脚共同接地时,受损结D2的漏电流小于结DI的正向偏置电流。
   案例二:多能域环境中的“拉电压”效应
   某I/O引脚在经过ESD测试之后,其I-V曲线里的开启电压出现异常,从3.5V降到了0.2V,这便是故障场景。然而,另一电源域VDD33对地短路才是实际故障所在。
   误判的原因在于:在测试的时候,如果把VDD33与I/O所属的电源域VDD_DVI相互连接,那么故障点VDD33会使整个耦合网络的电位降低,进而致使I/O引脚I-V曲线出现提前开启这种假象。
   对于多电源域芯片,建议采用的方法是对不同的域开展隔离测试,各电源域需要独立施加偏置并分别进行测量,这样可避免相互干扰。
2:具有两个电源域的ESD电路示意图
   I-V曲线作为ESD失效分析的高效工具,其有效性强烈依赖于测试配置的合理性。但若引脚配置定义不明确,在ESD测试期间,通过I-V曲线测量判定的失效引脚有时可能会产生误导。
   总的来讲,大多数ESD损伤能够被I-V曲线有效地识别出来,若对引脚配置的影响视而不见,那么真实损伤可能被隐匿,也可能出现“假阳性”误报的情况。深厚的技术沉淀与对细节的极致把控是精湛的I-V分析的依赖所在,而这恰恰是专业ESD设计服务的核心价值所在。

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