21ic电子技术开发论坛 › 综合技术交流 › 仪器仪表 › 光学3D表面轮廓仪-硅晶片表面微观形貌测量利器 ...

[测量] 光学3D表面轮廓仪-硅晶片表面微观形貌测量利器

楼主| 中图仪器 发表于 2017-11-9 15:44 | 显示全部楼层 |阅读模式

中图仪器SuperView W1 系列光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。

中图仪器SuperView W1 系列光学3D表面轮廓仪可对硅晶片平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。

中图仪器SuperView W1 系列光学3D表面轮廓仪显著特点：
1.操作便捷
可视化工作流程

自动聚焦

自动找条纹

一键分析

批量测量

2.精准可靠
抗振设计

扩展相位信号算法

0.75%重复性@4.7um

0.75%重复性@4.7um

标准溯源

中图仪器SuperView W1 系列光学3D表面轮廓仪主要技术指标：