多晶电阻相关

发表于 2010-9-19 10:06

请教各位匠人，现在最小工艺尺寸下多晶电阻最小宽度为多少？谢谢:) ～

发表于 2010-9-19 15:55

多晶的尺寸一般都会跟随着工艺尺寸，现在的多晶的最小宽度已经是几十nm。
不过尺寸越小，精度越难控制。一般厂家给出的PDK中，多晶电阻的最小宽度会比工艺尺寸大很多，因为需要保证电阻的精度在可接受范围内。而且，对于不同类型的多晶电阻，最小尺寸也不同。比较常见的有0.5μm、2μm等。

发表于 2010-9-20 05:22

最小宽度一般只有在给放大器做交流耦合偏置或者共模采样什么的才会用到...误差极大
基本上最小宽度和MOS本身栅极最小宽度在一个级别上，本来就是一样的材料